IXION-193是一款單頻全固態(tài)激光器。應(yīng)用于光學(xué)度量,193nm的校準(zhǔn)光源,高功率ArF準(zhǔn)分子激光器的帶寬控制。該激光器的光譜帶寬接近理論傅里葉極限。
激光器的中心波長(zhǎng)可以在190-194nm之間選擇,選擇精度高達(dá)0.01nm。
選項(xiàng):內(nèi)部集成一個(gè)高精度光譜儀,絕對(duì)光譜精度高達(dá)0.001nm。可實(shí)現(xiàn)激光器最大程度的可控性。
應(yīng)用領(lǐng)域:
· 193nm光學(xué)度量
· 光譜儀校準(zhǔn)
· 干涉度量分析
· 準(zhǔn)分子激光器的種子源
產(chǎn)品特點(diǎn):
· 工業(yè)化應(yīng)用
· 二極管泵浦
· 密封外殼
· 槽安裝激光二極管
· 光學(xué)參數(shù)優(yōu)良
· 功率穩(wěn)定度高
· 免維護(hù),熱電控制
· 19寸電源和冷卻
· LabVIEW驅(qū)動(dòng)
· 集成光譜儀,實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)的在線控制(選項(xiàng))
產(chǎn)品參數(shù):
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型號(hào)
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IXION-193 SLM
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波長(zhǎng)
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193.368nm
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平均功率
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>10mW
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脈寬
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<10ns
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單脈沖能量
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1.6μJ
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重復(fù)頻率
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6kHz
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M2
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<1.6
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光譜線寬
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<120MHz = 0.015pm = 0.004cm-1
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光譜控制
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>80GHz = 10pm = 2.6 cm-1
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相干長(zhǎng)度
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>1m
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系統(tǒng)尺寸(L×W×H),重量:
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激光頭
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795×710×154mm3
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74kg
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電源(冷卻裝置)
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600×600×600mm3
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45kg
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電源參數(shù):
